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真空機械手
真空機械手
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中,是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
單碟式真空傳輸系統(loadlock)
單碟式真空傳輸系統(loadlock)
該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接,通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品,可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程,提高系統效率。
團簇轉運平臺
團簇轉運平臺
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺,用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運,以便客戶進行二次開發。
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