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單碟式真空傳輸系統(loadlock)
單碟式真空傳輸系統(loadlock)
該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接,通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品,可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程,提高系統效率。
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