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200工位超高真空排氣設備
更新時間：2022-03-03 10:09:41 字號：T|T
1、產品用途
用于200工位器件超高真空排氣。
2、技術參數
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極限真空 |
10-8Pa |
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烘烤溫度 |
室溫+20℃～180℃ |
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工位數量 |
200 工位 |
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分區 |
共分成 4 個分區，每個分區可獨立工作 |
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溫度均勻性 |
單個溫區內≤±3℃ |
