陰極預(yù)處理臺(tái)
更新時(shí)間:2022-03-03 09:56:48 字號(hào):T|T
用于電真空器件陰極組件的排氣、老練工藝。
2、技術(shù)參數(shù)
極限真空度 |
10-7Pa |
工作真空 |
10-6Pa |
工位數(shù)量 |
10工位 |
烘箱溫度 |
≤550℃ |