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真空機械手
更新時間：2023-01-29 09:49:04 字號：T|T
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
                          

1、產品用途      
        VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。

2、技術參數

伸縮行程 

               ≤600mm

載重量

               ≤0.5kg

耐真空度

               10-5Pa

維數

               3維

重復運動精度

               ±0.1mm 

維護周期

               1年/次

手臂耐溫（℃）

               ≤80

叉片耐溫（℃）

               ≤300（更高可定制）

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