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真空機械手
更新時間：2023-01-29 09:49:04 字號：T|T
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
1、產品用途
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
2、技術參數
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伸縮行程 |
≤600mm |
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載重量 |
≤0.5kg |
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耐真空度 |
10-5Pa |
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維數 |
3維 |
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重復運動精度 |
±0.1mm |
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維護周期 |
1年/次 |
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手臂耐溫（℃） |
≤80 |
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叉片耐溫（℃） |
≤300（更高可定制） |
