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單碟式真空傳輸系統（loadlock）
更新時間：2023-01-29 09:49:25 字號：T|T
該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。
1、產品用途
該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。
2、技術參數
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基片規格 |
12"(向下兼容) |
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工位數 |
單工位 |
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腔體材料 |
鋁/不銹鋼 |
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真空機械手 |
升降可選 |
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控制軟件 |
MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選 |
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選配 |
其他功能可根據要求選配或定制 |
