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單碟式真空傳輸系統（loadlock）
更新時間：2023-01-29 09:49:25 字號：T|T
該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。
 
       

1、產品用途
       該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。


2、技術參數

基片規格

12"(向下兼容)

工位數

單工位

腔體材料

鋁/不銹鋼

真空機械手

升降可選

控制軟件

MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選

選配

其他功能可根據要求選配或定制

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